NGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA CÁC THÔNG SỐ KẾT CẤU ĐẾN ĐẶC TRƯNG ĐỘNG LỰC HỌC CỦA DẦM MICRO CÓ HÌNH DẠNG PHỨC TẠP

Abstract

Bài báo tiến hành khảo sát xác định các thông số động lực học đặc trưng của hai dầm kích thước micro được ứng dụng phổ biến trong các thiết bị vi cơ điện tử khi thay đổi các thông số kết cấu của dầm. Kết quả nghiên cứu cho thấy các thông số kích thước của dầm có ảnh hưởng trực tiếp đến giá trị độ cứng tương đương và khối lượng quy đổi của dầm và quyết định đến đặc trưng động lực học của hệ dao động trong các thiết bị vi cơ điện tử. Chiều rộng dầm có mức độ ảnh hưởng mạnh mẽ đến các thông số động lực học theo hướng thuận, khi tăng chiều rộng lên 40%, độ cứng tương đương và khối lượng quy đổi tăng lần lượt là 162,15% và 33,58% với dầm gập; 166,44% và 40% với dầm chữ V. Trong khi đó, khi chiều dài tăng 40%, khối lượng quy đổi của dầm gập và dầm chữ V tăng lần lượt là 34% và 40%, nhưng độ cứng tương đương thay đổi theo chiều hướng giảm, 62,84% và 62,96% lần lượt cho dầm gập và dầm chữ V. Kết quả này cho phép người thiết kế đưa ra những thay đổi cần thiết về kích thước dầm theo hướng thiết kế mong muốn.