View of KHẢO SÁT ẢNH HƯỞNG CỦA CHIỀU CAO VÀ ĐỘ CONG BỀ MẶT MẪU LÊN ĐẶC TÍNH KHỬ PHẢN XẠ CỦA LỚP MÀNG DLC PHỦ TRÊN ĐẾ Si BẰNG CÔNG NGHỆ PECVD

Return to Article Details KHẢO SÁT ẢNH HƯỞNG CỦA CHIỀU CAO VÀ ĐỘ CONG BỀ MẶT MẪU LÊN ĐẶC TÍNH KHỬ PHẢN XẠ CỦA LỚP MÀNG DLC PHỦ TRÊN ĐẾ Si BẰNG CÔNG NGHỆ PECVD Download Download PDF